電磁閥是用電磁控制的工業設備，是用來控制流體的自動化基礎元件，屬于執行器，并不限于液壓、氣動。用在工業控制系統中調整介質的方向、流量、速度和其他的參數。電磁閥可以配合不同的電路來實現預期的控制，氦檢設備而控制的精度和靈活性都能夠保證。電磁閥有很多種，不同的電磁閥在控制系統的不同位置發揮作用，常用的是單向閥、安全閥、方向控制閥、速度調節閥等。

　　由于半導體工業上用的氣體如硅烷, 氨氣等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格, 要求成品漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦檢設備能達到了。所以對于電磁閥的檢漏，氦檢設備是較好的選擇!

　　電磁閥閥芯需要檢漏

　　客戶生產的電磁閥(fa)閥(fa)芯, 經過鐳(lei)射焊(han)(han)接后, 懷疑焊(han)(han)縫存在微小的泄漏(lou), 單個閥(fa)芯漏(lou)率需要(yao)低于 5-10 mbar l / s.

　　電(dian)磁閥閥芯檢(jian)漏(lou)方法

　　來料先用(yong)放大鏡(jing)目視檢(jian)測(ce), 閥芯鐳射焊接完成后再目視檢(jian)測(ce), 用(yong)氦檢(jian)設備檢(jian)漏, 漏率值以氦檢(jian)設備檢(jian)測(ce)的數據作為標(biao)準(zhun).

　　電磁閥(fa)閥(fa)芯檢漏(lou)操(cao)作說明

　　1. 先將閥接入(ru)工裝(zhuang), 形(xing)成(cheng)一個密閉的腔體. 再將氦檢設備連(lian)接到工裝(zhuang)上.

　　2. 啟動氦檢(jian)設(she)備(bei), 真空模式(shi)下,設(she)置漏(lou)率值(zhi) 5-10 mbar l / s, 氦檢(jian)設(she)備(bei)開始抽取密閉腔體(ti)中的氣(qi)體(ti), 同時顯示一個漏(lou)率值(zhi).

　　3. 在電磁閥鐳射焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣, 同時觀察氦檢設備上顯示的(de)漏率值有(you)無變化.

　　4. 如(ru)果漏(lou)率值上升, 說(shuo)明(ming)噴氦氣(qi)的地方有(you)漏(lou), 該被檢(jian)對象品質不合格. 如(ru)果漏(lou)率值能(neng)達到要求, 該被檢(jian)物件(jian)合格, 檢(jian)漏(lou)檢(jian)測(ce)完(wan)成.

　　電磁閥(fa)閥(fa)芯檢漏方法(fa)(fa)-負壓法(fa)(fa)

　　1、先將閥接(jie)入工裝，形成一個密閉(bi)的腔體(ti)，再(zai)將氦檢設(she)備連接(jie)到工裝上。

　　2、啟動氦檢設備， 氦檢設(she)備開(kai)始(shi)抽(chou)取密(mi)閉(bi)腔(qiang)體中(zhong)的氣體，同時(shi)顯示(shi)一個漏率(lv)值。

　　3、在激光焊縫和懷疑有漏的地方噴氦氣，同時觀察氦檢設備上顯示的(de)漏(lou)率值有無變化。

　　4、如(ru)果(guo)漏(lou)(lou)率(lv)(lv)值上升，說明噴氦氣的(de)地方有漏(lou)(lou)，該(gai)被(bei)檢(jian)對象(xiang)質量不合(he)格(ge)。如(ru)果(guo)漏(lou)(lou)率(lv)(lv)值能達到要求，該(gai)被(bei)檢(jian)對象(xiang)合(he)格(ge)，檢(jian)漏(lou)(lou)檢(jian)測(ce)完(wan)成。

　　正確的選擇氦檢設備和檢漏方法、不僅能夠獲得可靠準確檢測數據，而且能夠大大降低生產檢測成本。氦檢設備在電磁閥(fa)檢漏上的(de)應(ying)用(yong)具有重要意義，電磁閥(fa)的(de)性(xing)(xing)能指標有了量化的(de)考評，對提升電磁閥(fa)產品質量具有推動性(xing)(xing)作用(yong)。